高純氯氣在微電子工業(yè)中的應(yīng)用
發(fā)布時間：2021-12-13來源：洛陽華普高純氣體點擊：2118
高純氯氣在微電子工業(yè)中的應(yīng)用
微電子工業(yè)的半導(dǎo)體器件和大規(guī)模集成電路的可靠性，在很大程度上取決于半導(dǎo)體表面的熱氧化、等離子蝕刻、晶體生長等技術(shù)，而這些工藝過程則需使用高純氯氣，氯氣質(zhì)量的好壞會直接影響電子元器件的質(zhì)量。
二氧化硅中的Na*是造成硅平面元件和MOS器件性能不穩(wěn)定的主要原因。若在干氧化時摻入適量的高純氯氣，就能有效地消除Na，從而大大改善MOS器件的電性能。用氯氣進(jìn)行二氧化硅的熱氧化和蝕刻是美國材料檢驗學(xué)會標(biāo)準(zhǔn)中規(guī)定的方法。
洛陽華普氣體科技有限公司作為地區(qū)專 業(yè)的高純氯氣氣體產(chǎn)品研發(fā)供應(yīng)機(jī)構(gòu)，公司生產(chǎn)的各種不同類型的高純氦氣、高純氧氣、高純笑氣等產(chǎn)品不僅質(zhì)量上乘，而且產(chǎn)品純度高，各種不同純度類型的產(chǎn)品都有，在實際的工業(yè)生產(chǎn)領(lǐng)域中有著廣泛的應(yīng)用，深受廣大需求廠家的好評，值得信賴，歡迎前來選購。